FeCl3蚀刻原理|FeCl3蚀刻的原理|FeCl3蚀刻原理介绍

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FeCl3蚀刻原理

文章出处:本站  责任编辑:Editor  人气:3384  发表时间:2012-6-7 16:36:53  【

FeCl3蝕刻原理的发现:Fecl3蚀刻是最早使用的一·种用于铜及台金蚀刻的加工方法,这种方法,原料容易获得,价格便宜,配制简单,易于操作,因此这一方法曾经被广泛采用,即便是现在也被较多的铜蚀刻厂所采用。但这种方法对环境污染较重而被其他的腐蚀方法所逐渐取代。
四川快乐12开奖结果     Fecl,对铜的腐蚀是一个氧化还原过程,在铜表面Fe3+铜氧化成Cucl3同时Fe3被还原成Fe3+

 

FeCl3蝕刻原理的介绍:
(1)       对蚀刻速度的影响:FeCL3蚀刻液中随着FeCL3浓度的增高,蚀刻速度加快。当所含FeCL3超过某一浓度时,由于溶液黏度增加,蚀刻速度反而有所下降。
(2)       的添加量对蚀刻速度的影响:在蚀刻液中加入盐酸,一则可以抑制FeCL3和CuCL2的水解;二则可提高蚀刻速度。特别是当蚀刻液中铜含量达到37.4g/L后,盐酸的作用更加明显。
(3)    对蚀刻速度的影响:在FeCL3蚀刻工艺中,随温度的增加,蚀刻速度亦加快,比如当温度在50度时,全新蚀刻液对铜的蚀刻速度可达10um/min。但在实际生产中,都是采用常温蚀刻方法。FeCL3对铜的蚀刻是一个放热反应,随着蚀刻的进行,蚀刻液温度会逐渐升高,蚀刻速度加快。随着FeCL3的消耗,蚀刻速度下降。同时这一温升过程比较缓慢,所以在整个蚀刻过程中蚀刻速度变化不大。
(4)       对蚀刻速度的影响:静止蚀刻的速度和蚀刻质量都是比较差的。这是因为在蚀刻过程中,一方面被蚀刻铜表面和蚀刻液中都会有沉淀生成,影响了铜的正常蚀刻;另一方面,铜在蚀刻过程中,被蚀刻表面的溶液会逐渐呈现暗绿色,这表明在补被蚀刻表面的FeCL3已跟铜表面发生了还原反应而失去了氧化能力。
 
            cu+FecI,一cucl十Fe~:1,    (5  41)
cucl离子具有还原性,和腐蚀液叶J的Fe¨进一步反应生成cucl,。
    Cucl+FeCl、一(:ucl2+FeCl 2    (5—42)
生成的cucl2具有氧化性,同样会与铜发生氧化还原反应。
    cu+c∞12——2cucl    (5—43)
FeCl3蝕刻原理结论:FeC:l,蚀刻液是依靠Fecl,和cucl:同时完成的。其中n¨的氧化能力强,蚀刻速度快.蚀刻质量好。相对而言,cucI2在这里蚀刻速度较世,蚀刻质量差,随着蚀刻液中Fe3的消耗和cuCL2的增大而使蚀刻速度逐渐减慢,并使蚀刻质量恶化。当Fe3消耗量达50%时,蚀刻速度及蚀刻质量都将不利于继续进行蚀刻过程.而应更换蚀刻液。
    在实际生产中,表示蚀刻液的蚀刻效能不是片Fe3的消耗量来衡量,而是采用蚀刻液中铜的溶解量(单位为昏g/l)来衡量。铜在FeCl3蚀刻溶液中,最初蚀刻速度是恒定的。然而,随着蚀刻液中Fe¨的消耗,蚀刻液中铜含量不断升高,当溶铜量达到60g/L时,蚀刻速度会变慢,当蚀刻液中Fe3消耗达到40%时或溶铜量达到83g/L时,蚀刻速度会急剧下降,此时的蚀刻液不能再继续使用,而应考虑蚀刻液的再生或更新。
    通常使用的FeCl 3蚀刻液酸度都不高,所以FecL3蚀刻液在蚀刻铜时,也伴有FeCl,和CuCI,的水解副反应:
    Fecl,+3H:O—Fe(OH)3 J+3HCI    (5 44)
    cucl2+2H20一cu(on)2 +2HC:l    (5 45)
    生成的氯氧化物不稳定,受热易分解牛成相应的氧化物和水,这些氧化物一部分沉淀在蚀刻槽底部形成黄土样沉积物,一部分悬浮于蚀刻液中,对抗蚀层产生一定的破坏作用。
    2Fe(OH),一Fe202+3H3O    (5—46)
    cu(OH)2—cuO +H2O    (5 47)

    FeCl3蝕刻原理  如需了解更多请联系:隗(yu)小姐0755-29914202/61500558         yw6@jyznzz.com

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